飞秒激光器的应用

近几年来，随着人们对生活质量要求的提高，国内的消费类电子，清洁能源，新能源汽车，生物医疗以及半导体等行业得到了蓬勃的发展。激光尤其是**快激光在这些高端智能制造领域的作用得到越来越多的体现。
飞秒激光器在切割硅晶圆方面的应用一直备受关注，因为飞秒激光脉冲的高峰值功率，可用于消融硅晶圆和其他沉积在硅晶圆表面的材料，并且对相邻组件的影响或热损伤较小。通常，这些硅晶圆预先配置了切割通道。这些通道也用于芯片分割之前的探测和测试。因此，切割通道填充有传感器和探测点。在这种情况下，飞秒光束用于去除那些附加的表面层，同时支持硅晶圆的隐形切割。由于飞秒激光脉冲在坚硬、透明蓝宝石衬底中*特的强非线性吸收，飞秒激光器也是从蓝宝石晶圆中分离出高亮度LED芯片的理想选择。
飞秒激光的**快速时间和**高峰值功率的特性，在飞秒激光用于材料加工时，具有如此高峰值光强和较短持续时间的光脉冲与物质相互作用，能够以较快的速度将其全部能量注入到很小的作用区域，瞬间内的高能量密度沉积将使电子的吸收和运动方式发生变化，避免了激光线性吸收而导致能量转移和扩散等的影响，从而在根本上改变了激光与物质相互作用的方式，使飞秒激光加工成为具有**高精度，**高空间分辨率，以及广泛性的材料适应性的非热熔冷处理过程，开创了激光加工的崭新领域。
其实飞秒激光在非学术领域的**大规模应用是在眼科领域。高强度飞秒脉冲，是在没有热损伤的情况下分离透明生物组织的理想工具。在用准分子激光器重塑角膜基质之前，通过飞秒激光产生角膜瓣，已经在视力矫正方面实现了商业化。
随着激光技术的发展，激光器向着更快脉冲、更高能量、更短波长的方向迈进，这给激光材料加工带来了革命性的进步。这使得**快脉冲激光器越来越得到产业界的关注。这主要体现在**快脉冲激光加工可以得到远**长脉冲激光加工的精度，较高可以达到亚微米甚至纳米。**快脉冲激光除了可以进行材料切割打孔等基本加工之外，还能够实现材料表面的加工与改性，对透明材料内部的加工与改性，实现了其他加工方法无法实现的高精度、复杂形状元器件的加工。另外**快脉冲激光几乎可以与任何材料相互作用，可用于激光加工的材料不受限制。对于超硬、易碎、高熔点、易爆等材料的加工，更具有其他方法所无法匹敌的优势。
为了适应激光行业的发展新特光电代理的FEMTO系列激光器是一款强大的工业应用的飞秒激光器，输出功率高达30W，脉冲能量达160uJ以上，非常适合高精密高质量的微加工应用。脉冲可达800 fs（典型值为600fs）,其重复频率可调范围从100 kHz 到1MHz。该灵活特性使FEMTO激光器可以满足工业上高性能和高能量的应用要求。
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